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IT・エレクトロニクス

ウェハー搬送ケース

商品名:プロトスキャリア MAシリーズ (10625)

業界標準コインスタックケース アキレスプロトスキャリア

【特徴】
●コンパクトデザインにより輸送コストを削減します
一般的な縦型容器に比べ、約半分のサイズで梱包が
可能ですので、輸送コストを大幅に削減する事が可能です。
●4インチから12インチまで対応
●自動ウェハー移載装置対応
●洗浄出荷による高クリーン性を維持

【表面抵抗値】
<1.0×10の6乗Ω

【材質】
導電性PP

画像


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MAシリーズ 規格表

形式ウェハーの径容器高さ(mm)有効高さ(mm)収納部内径(mm)容器外径(mm)
MA-45インチ9050103±1150
MA-55インチ9050128±1150
MA-66インチ9050153±1175
MA-6S6インチスリム6338153±1175
MA-8S8インチスリム6538203±1226
MA-1212インチ7644302±1328

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