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IT・エレクトロニクス

ウェハー搬送ケース

商品名:プロトススペーサー (10631)

プロトスキャリア用クリーンスペーサー

【特徴】
●ニーズに合わせた豊富なバリエーション
 お客様のご要望に合わせて4種類をラインナップしています。
●優れたクリーン性能
 製造工程で洗浄を行い、低イオンコンタミ、低パーティクルを
 実現しています。
●自動ウェハー移載装置対応
 自動移載装置でも吸着しハンドリングを行う事が可能です。
●表裏無し
 表裏が無い製品ですので、作業標準化が極めて容易です。

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プロトススペーサーPEAタイプ

品番:PEA-□-350
 (□はインチ数 4/5/6/8/12)

表面抵抗値:<1.0×10の12乗Ω

材質:帯電防止PE

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プロトススペーサーCPSタイプ

品番:CPS-□-250
 (□はインチ数 4/5/6/8/12)

表面抵抗値:<1.0×10の9乗Ω

材質:帯電防止PE

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