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IT・エレクトロニクス

ウェハー搬送ケース

商品名:非接触搬送用プロトススペーサーRタイプ (10633)

非接触でのウェハー搬送を可能にするリングスペーサー

【特徴】
●ウェハーを非接触状態で搬送可能
 リング形状のスペーサーで接触部は外周部2mmとなっているため、
 パターン面は非接触状態を維持したままで搬送が可能です。
●優れたクリーン性能
 低パーティクル、低イオンコンタミ、低アウトガスを
 実現しています。
●8インチ、12インチプロトスキャリアに対応
 8インチ、12インチの2種類をラインナップ、
 プロトスキャリアZシリーズに対応しています。

【表面抵抗値】
<1.0×10の5乗Ω

【材質】
導電性PP

画像


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